HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點監測的高級氣體監測儀介紹

2025-03-02 09:38

HORIBA IR-400 系列高級氣體監測儀用于腔室清洗終點監測介紹

HORIBA IR-400 系列氣體監測儀是一款專為半導體制造過程中的腔室清洗終點監測而設計的高性能設備。它通過實時監控沉積過程中的氣體組成，優化清洗過程，減少清洗時間和氣體消耗，從而提高生產效率并降低成本。

HORIBA IR-400 系列高級氣體監測儀用于腔室清洗終點監測核心功能與特點

  • 實時終點監測：IR-400 能夠實時監測腔室清洗過程的終點，確保每次清洗都達到預定的清潔標準。
  • 減少清洗時間與氣體用量：通過精確控制清洗過程，IR-400 幫助減少必需的清洗時間及氣體用量，進而減少生產成本。
  • 增加腔室組件壽命：減少清洗過程中氣體的使用不僅降低了對腔室的物理和化學損害，也有效延長了腔室內各組件的使用壽命。
  • 多氣體監測能力：IR-400 支持多種清洗氣體，如 SiF4 和 CF4，增強了設備的適用性與靈活性。
  • 氣室加熱功能：具備最高可達 180°C 的氣室加熱功能，保證在各種工作溫度下的穩定性和效率。
  • 高靈敏度監測：高靈敏度的檢測系統確保監測結果的準確性，對氣體濃度變化反應迅速。
  • 通信接口豐富：提供模擬和數字通信選項，便于集成到現有的工控系統中，實現數據的即時傳輸和分析。

HORIBA IR-400 系列高級氣體監測儀用于腔室清洗終點監測適用范圍

HORIBA IR-400 系列非常適合在半導體生產線中使用，尤其適用于需要高精度和高效率腔室清洗的場合。通過這種先進的氣體監測技術，可以大幅提高生產效率，降低運行成本，是半導體制造行業中不可或缺的關鍵設備。

總體而言，HORIBA IR-400 系列的推出，為半導體制造業提供了一個可靠、高效且成本效益顯著的解決方案，以應對日益嚴峻的市場競爭和生產效率要求。