日本HORIBA堀場數字式液體質量流量計LF/LV性能

2024-07-08 08:00

在半導體器件快速一體化的發展過程中,材料的引入和流量需求的不斷增長催生了對更精密、穩定的液體控制設備的需求。HORIBA數字式液體質量流量計LF和LV系列便是應對這種需求的高效利器。這些流量計不僅在精確檢測和控制低沸點和高粘度液體方面表現出色,還通過其獨特的冷卻測試方式和超潔凈的內部處理工藝,滿足了嚴格的環境標準。

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一、日本HORIBA堀場數字式液體質量流量計LF/LV性能

數字式液體質量流量計LF系列特別適用于需要精細檢測低沸點和高黏度液體流量的應用場景。這些液體通常在半導體生產過程中具有重要的作用,其精確檢測能力確保了生產過程的穩定性和產品的一致性。設備的設計考慮了操作時的抗壓性,能夠承受10MPa的高壓,使其更加穩定和可靠。尤其值得一提的是,儀器內部進行的超潔凈處理,符合RoHS環境標準,保證了在高精密環境中的使用,無疑是對環保和技術水平的雙重承諾。

另一方面,數字式液體質量流量計LV系列更多地側重于對低沸點和高黏度液體的精確控制。其冷卻測試方式同樣確保了液體在不同溫度和壓力條件下的穩定流動和控制。這一系列的設備抗壓性為1MPa,雖然略低于LF系列,但其在微小流量控制上的卓越性能,使其在特定應用場景中收益頗多。LV系列同樣遵循了超潔凈處理和RoHS標準,這些特性不僅提高了使用安全性,還有效降低了潛在污染的風險。

HORIBA的這些液體質量流量計在先進的技術加持下,通過加熱、直接注入、混合注入等多種方式,確保了液體傳輸到反應室的平穩和有效性。這些設備的自動供液系統設計創新性,既能不間斷安全可靠地傳輸液體,提高工作效率,又可以顯著減少操作員的手動操作負擔及制程污染風險。在這樣一個復雜多變的半導體制造領域,穩定可靠且高效的液體控制系統無疑是提高生產效率和產品品質的關鍵之一。

綜上所述,HORIBA的數字式液體質量流量計LF和LV系列通過其精確的流量檢測和控制能力,出色的抗壓性能與超潔凈處理技術,為半導體制造業提供了強有力的支持。將復雜的液體控制過程變得更為簡便、環保和安全,這些設備的應用有效助力了行業的技術進步與發展。

二、上海進佳科學儀器有限公司介紹

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進佳科學儀器始終秉承“專業、創新、服務”的經營理念,不斷追求技術和服務的進步,提供更優質的產品和全方位解決方案,幫助客戶實現更高的生產和研發效能。我們期待與更多行業伙伴攜手共進,共同構建美好未來。

上海進佳儀器

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