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HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統

HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統

HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統
批發價格
面議
具體成交價以合同協議為準
起訂量
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型號規格

HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統 簡介

產品參數
產品品牌
HORIBA堀場
產品類型
質量流量計/控制器
可售賣地
面議
價格區間
面議
供貨總量
面議
售后服務
完善
產品簡介
GR-300 系列可以控制用于冷卻晶圓背面的氣體，晶圓通過靜電卡盤系統固定到位。 GR-300 系列的穩定性和精確性使其成為控制晶圓冷卻系統中氦氣和氬氣流量的理想選擇。

HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統 詳情介紹

優點：
壓力控制更加穩定和精確

即使壓差非常低，也使用高精度壓電閥來控制壓力。安裝了一個高精度的壓力傳感器，用于測量<1%F.S范圍內的出口壓力。


質量流量傳感器（可選）

通過應用HORIBA STEC 質量流量產品中成熟的流體控制技術，該產品能夠實現微小的差壓控制，并添加氣體流量監測（帶質量流量傳感器）以實現自診斷功能。

符合 RoHS 標準

GR-300系列使用不破壞環境且符合最新RoHS法規的零件

HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統產品規格

HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統參數

HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統參數

HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統參數

關于進佳儀器

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